CNC-metallinleikkaustyöstökoneiden työstötarkkuus on parannettu alkuperäisestä langan tasosta (0,01 mm) mikronitasolle (0,001 mm), ja jotkut lajikkeet ovat saavuttaneet noin 0,05 μm. Ultratarkkuus-CNC-työstökoneiden mikro-leikkauksessa ja hionnassa tarkkuus voi olla vakaasti noin 0,05 μm ja muodon tarkkuus voi olla noin 0,01 μm. Erikoiskäsittelyn tarkkuus valoa, sähköä, kemikaaleja ja muita energialähteitä käyttämällä voi saavuttaa nanometrin tason (0,001 μm). Työstökoneiden rakenteen optimoinnin, työstökoneiden osien ultra-viimeistelyn ja tarkan kokoonpanon, korkean-tarkan täys-suljetun-silmukan ohjauksen ja dynaamisen virheenkompensointitekniikan, kuten lämpötilan ja tärinän, käytön ansiosta työstökoneiden käsittelyn geometrinen tarkkuus paranee, virheitä jne. pinnan muoto ja sijainti paranevat. , jotta pääsemme sub-mikronin ja nano-mittakaavan ultra{19}}viimeistelyn aikakauteen.
